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各段工艺后的少子寿命
2017-05-31 14:23:08   来源:   评论:0 点击:

制绒后少子寿命会比原硅片上升,不过多测几次会下降得较明显,主要是易受污染。  扩散后较高,因为磷硅玻璃有一定的钝化作用。  刻蚀后变化情况与制绒后差不多。  PE后很低,主要是氮化硅膜的表面状况。 
制绒后少子寿命会比原硅片上升,不过多测几次会下降得较明显,主要是易受污染。

  扩散后较高,因为磷硅玻璃有一定的钝化作用。

  刻蚀后变化情况与制绒后差不多。

  PE后很低,主要是氮化硅膜的表面状况。

  烧结后不测少子,因为有金属栅线了,没意义。

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